審查重點包括：
1.技術/服務創新性、可行性與競爭力。
2.提升既有技術水準強化競爭優勢或規劃以原有核心技術擴大產業應用層次；創新服務之商業模式可行性。
3.研發人員專業能力。
4.實施方法、時程、計畫可行性。
5.關鍵技術及智財引進與轉委託研究。
6.人力、經費、使用設備等投入資源合適性。
7.建議補助額度與權益。
專區設置之法源依據：「嚴重特殊傳染性肺炎防治及紓困振興特別條例」第18條第3項規定：「行政院應設置專門網站，每週更新各目的事業主管機關訂定之津貼、獎勵、補償、補助、補貼、紓困、振興法規命令或行政規則。」