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科技專案成果

【國際獲獎】揭開磊晶黑盒子 大幅縮短開發時程
發佈日期:2018-01-04
單位:工業技術研究院
案例年度:2017
簡介:
工研院獨創的「可視化磊晶製程與設備優化軟體(CyberEpi)」,不同於傳統的人為操作方式。而是透過創新的多重物理與化學耦合數值模擬分析,與高溫流場可視化技術,經由雷射動態拍攝,讓研發人員可直接觀察磊晶製程的高溫動態流場,加上製程參數實驗,計算出優化的模擬分析資料,再導入巨量資料庫。CyberEpi適用於磊晶製程和設備模組研發,除了將調整最佳化參數製程時間,由1週大幅縮減為2小時,而且能獲得準確度95%的鍍膜速率與均勻性預測。

特色:

獎項名稱:美國百大科技研發獎(R&D 100 Awards 2017)
執行單位:工業技術研究院
獲獎成果:可視化磊晶製程優化系統
 

成果說明:
 

過去製程在調控參數時,只能仰賴磊晶製程人員的經驗,一組參數驗證往往需要6到8小時,甚至為了找出整體最佳化製程參數時,更須耗費1週以上。工研院團隊開發出「可視化磊晶製程優化系統」不僅大幅縮短最佳化參數時間,由原本一週減少為兩小時,準確度由92%提升為95%,大幅優化磊晶製程。此外,此系統創新設計的關鍵設備模組,使機台產能成長2倍,預期將新產品上市時間從三個月縮短為一個月,進而讓製造成本降低60%~70%。此系統後續將導入人工智慧,讓系統更進化。除可協助LED業者技術升級,穩固台灣在全球LED市場的領導地位。還能應用於其他產業的磊晶與先進鍍膜製程,包括半導體、下世代顯示器、太陽能光電、無線通訊,以及高效率功率電晶體等。
 

2017全球百大科技研發獎獲獎成果-可視化磊晶製程優化系統。

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