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科技專案成果
平面顯示器設備技術開發計畫
發佈日期：2012-07-12
單位：金屬工業研究發展中心、工業技術研究院
案例年度：2009
簡介：
顯示器產業為目前維繫我國經濟持續成長的最主要領導產業之一，為掌握規格主導先機，金屬中心與工研院南分院、量測中心、機械所等研發機構投入發展Array/Cell段高技術障礙及影響製程良率之新製程設備技術，提高我國LCD整體產業競爭優勢。以成膜、乾蝕刻、配向及液晶滴入設備及電極圖案瑕疵、表面微結構3D形貌檢測技術等為主， 另因應次世代顯示器軟板、TFT-LCD結構簡化等需求，結合先進製程技術就設備項目同步研發。如： 可撓式顯示器之R-to-R軟板製程設備、雷射電極圖案製程設備、捲式鍍膜設備、軟板乾式洗淨/對位/封裝設備等，以建立自主性產品與製程檢測設備技術能量，掌握核心競爭能力。
特色：
本計畫突破技術多， 申請99件專利，獲得37件，應用54件， 技術移轉4 8 家， 促進投資5.6億元，促進產值26.5億元。各項主要績效指標均超前。平面顯示器產業是維繫我國經濟持續成長的主要領導產業之一，製程設備功能性原材料自給率乃競爭力之關鍵，本計畫突破過去倚賴國外，以發展高風險關鍵製程及檢測設備技術，且發展次世代製程設備技術， 使國內檢測設備自製率由20%提升至80%，使國內廠商在平面顯示器設備技術開發及產值大幅提升，成效顯著。
計畫成果:
- 建立國內包括單頻、多頻、白光等光干涉的表面形貌顯微量測技術，協助國內AOI量測儀器廠商提升技術層次至微/奈米精度等級的表面形貌顯微量測法且協助開發新的產品線，加強國際競爭力並拓展產業服務領域，完成高速與客製化的平面顯示器瑕疵檢測技術。
- 開發第一台300mm大幅寬線噴嘴CO2-Snow噴洗設備，有別於國外單噴嘴噴洗設備，且適合於Roll to Roll軟板傳動乾式清洗模式，可應用於FPD、可撓式面板、軟性電子等產業。
- 電漿束液晶配向技術目前全世界僅本計畫將此技術導入量產開發，無論設備或製程均可獨立自主，不僅擁有專利原創性與技術新穎性，且已逐步布下完整之專利網路，其中以製程及設備為主要方向。
- 整合雷射圖案技術與應用Roll t o Roll 傳輸關鍵模組，開發可應用於軟性顯示器圖案的雷射設備。協助源興光電開發光電元件的 Laser設備，並促成公司成立。
- 在自動檢測技術方面完成輔導陽程科技開發LCD photo spacer高度檢測機台，並成功進入友達產線進行量產檢測。 6.常壓下對位貼合技術取代傳統顯示器於真空環境下之cell封裝製程，降低成本30%。
工研院機械所成功開發三代尺寸電漿束配向面板(95年度科專計畫)
MIRDC開發復檢設備之光學讀取頭自動對焦整合系統 (96年度科專計畫)
ITRI/IS開發軟板對位與封裝機台設備(96-97年度科專計畫)
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