:::

科技專案成果

完善高階檢測服務環境 促進材料研發進一步突破
發佈日期:2015-03-24
單位:工業技術研究院
案例年度:2014
簡介:
  • 出處:經濟部技術處法人科專成果表揚成果專輯
  • 獎項:103年法人科專成果表揚-研發服務卓越獎
  • 得獎計畫:工研院環境建構總計畫(2/3)高值材化分項─高階製程診斷與奈米檢測服務平台
  • 個人/團體/技術:工業技術研究院材料與化工研究所 高階製程診斷與奈米檢測服務平台計畫團隊
此計畫團隊建構的高階製程診斷與奈米檢測服務平台,為全國最完整的核心檢測設施。平台建置完成後,高階檢測設備平均使用率高達97.95%,成功協助國內五家以上重要旗艦廠商,服務廠商家超過150家、服務廠商件次超過350次,於專利訴訟、製程開發、產品認證等方面之成果甚為顯著,所衍生創造的資本投資與經濟效益達新台幣數十億元。此計畫已為台灣業界提供一個具公信力、差異化、整合性、技術領先且具區域性領導地位的優質高階檢測服務環境。

特色:

為解決委由外國廠商檢測易發生效率不高及商業機密洩漏等問題,工研院材化所團隊致力建構一個具公信力的高階檢測服務環境,針對此目標,技術團隊先後開發完成先進電鏡檢測技術、奈米力學表面分析技術、高精確度矽晶破斷技術、先進質譜分析技術,以及不對稱場流流場分析技術等,透過這些技術可降低實驗試誤法(try and error) 所耗費的時間。

值得一提的是,由於此技術團隊所建置的低電壓球差校正電鏡/EELS檢測技術,具有快速檢測(1/2交件時間)與低成本(6成)的競爭優勢,因此已成為台積電20 nm以下 FinFET結構最主要的低電壓電鏡EELS檢測合作夥伴,並在102年度促成台積電研發投資達新臺幣3,000萬元、檢測設備投資達上億元。

這些技術不僅能加速國內半導體業者在20nm以下先進元件製造的量產時程,還能協助業者提早進入12~16nm FinFET的元件開發。此外,該計畫並成功協助長春石化、新日光、臺灣微脂體與臺灣杜邦等重要廠商,總計服務家數達150家,件次達350次以上,所衍生創造的資本投資與經濟效益達數十億元以上。

此檢測平台的建立對於我國產業發展具有重大意義,尤其是針對我國經濟成長所依賴的幾項重要基礎產業,例如傳統石化、機密製造、半導體IC、顯示照明、太陽光電與生醫材料。基本上,產業升級與再造的前提是關鍵材料與製程技術有所創新,然而過去國內產業檢測過度依賴低階例行檢測,無法讓材料研發達到突破性發展,而高階檢測又需透過國外檢測公司進行,導致效率不高且有商業機密保密問題,因此,為協助產業發展,工研院材化所組成技術團隊,利用工研院所支持的1.5億元高階設備投資,投入高階製程診斷與奈米檢測服務平臺的建構工作。

此團隊建置的高階檢測設備平均使用率達97.95%,而基於這些技術和設備所發展出的全方位高階檢測服務解決方案,能針對臺灣五大基石產業,包括高值石化、電光顯示、綠色能源、機械領域與生醫材料所面臨的共同議題提供支援服務。這些服務包括先進製程診斷與檢測服務、生醫藥載材料微結構檢測服務、高值化學品原料輸出歐盟驗證服務、環境水資源驗證服務、奈米標章奈米尺度驗證服務等。

毫無疑問,此計畫團隊所研發的高階檢測技術,將是國內未來幾年很重要的競爭力之一,因此該團隊將持續提供國內五大基石產業所需的高階檢測服務,也將持續進行國內高階檢測品質精進,以完成替代國外檢測的目標,讓臺灣的研發及創新能量能進一步得到釋放。 

財團法人工業技術研究院材料與化工研究所
財團法人工業技術研究院材料與化工研究所
全國最頂尖低電壓球差校正穿透式電鏡
全國最頂尖低電壓球差校正穿透式電鏡
高階製程診斷與奈米檢測服務平台
高階製程診斷與奈米檢測服務平台
高解析液相層析儀(LC-Q-TOF)
高解析液相層析儀(LC-Q-TOF)
定量奈米力學與快速掃瞄探針顯微鏡
定量奈米力學與快速掃瞄探針顯微鏡
本計畫之研發團隊
本計畫之研發團隊
 

* 點閱數1441

回上一頁 回首頁