科技專案成果

為解決委由外國廠商檢測易發生效率不高及商業機密洩漏等問題，工研院材化所團隊致力建構一個具公信力的高階檢測服務環境，針對此目標，技術團隊先後開發完成先進電鏡檢測技術、奈米力學表面分析技術、高精確度矽晶破斷技術、先進質譜分析技術，以及不對稱場流流場分析技術等，透過這些技術可降低實驗試誤法(try and error) 所耗費的時間。

值得一提的是，由於此技術團隊所建置的低電壓球差校正電鏡/EELS檢測技術，具有快速檢測(1/2交件時間)與低成本(6成)的競爭優勢，因此已成為台積電20 nm以下 FinFET結構最主要的低電壓電鏡EELS檢測合作夥伴，並在102年度促成台積電研發投資達新臺幣3,000萬元、檢測設備投資達上億元。

這些技術不僅能加速國內半導體業者在20nm以下先進元件製造的量產時程，還能協助業者提早進入12~16nm FinFET的元件開發。此外，該計畫並成功協助長春石化、新日光、臺灣微脂體與臺灣杜邦等重要廠商，總計服務家數達150家，件次達350次以上，所衍生創造的資本投資與經濟效益達數十億元以上。

此檢測平台的建立對於我國產業發展具有重大意義，尤其是針對我國經濟成長所依賴的幾項重要基礎產業，例如傳統石化、機密製造、半導體IC、顯示照明、太陽光電與生醫材料。基本上，產業升級與再造的前提是關鍵材料與製程技術有所創新，然而過去國內產業檢測過度依賴低階例行檢測，無法讓材料研發達到突破性發展，而高階檢測又需透過國外檢測公司進行，導致效率不高且有商業機密保密問題，因此，為協助產業發展，工研院材化所組成技術團隊，利用工研院所支持的1.5億元高階設備投資，投入高階製程診斷與奈米檢測服務平臺的建構工作。

此團隊建置的高階檢測設備平均使用率達97.95%，而基於這些技術和設備所發展出的全方位高階檢測服務解決方案，能針對臺灣五大基石產業，包括高值石化、電光顯示、綠色能源、機械領域與生醫材料所面臨的共同議題提供支援服務。這些服務包括先進製程診斷與檢測服務、生醫藥載材料微結構檢測服務、高值化學品原料輸出歐盟驗證服務、環境水資源驗證服務、奈米標章奈米尺度驗證服務等。

毫無疑問，此計畫團隊所研發的高階檢測技術，將是國內未來幾年很重要的競爭力之一，因此該團隊將持續提供國內五大基石產業所需的高階檢測服務，也將持續進行國內高階檢測品質精進，以完成替代國外檢測的目標，讓臺灣的研發及創新能量能進一步得到釋放。 

財團法人工業技術研究院材料與化工研究所

全國最頂尖低電壓球差校正穿透式電鏡

高階製程診斷與奈米檢測服務平台

高解析液相層析儀（LC-Q-TOF）

定量奈米力學與快速掃瞄探針顯微鏡

本計畫之研發團隊