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科技專案成果

碳化矽單晶生長關鍵技術優化半導體產業鏈
發佈日期:2016-11-24
單位:國家中山科學研究院
案例年度:2016
簡介:
發展碳化矽單晶晶體成長以及晶圓檢測技術,以改善現有產業缺少上游關鍵材料碳化矽基板的問題。

特色:
1.協助環球晶圓及穩懋半導體股份有限公司,通過經濟部A+企業創新研發淬鍊計畫「新世代通訊用之半絕緣碳化矽(S.I.-SiC)晶圓及氮化鎵元件的技術開發」,全案3年總金額新台幣6億元,以晶圓品質為基礎,配合元件設計和製程,共同開發高品質元件特性。使國內碳化矽產業佔有國際高功率市場不可或缺之地位。本院委託執行碳化矽晶圓檢測技術驗證工作。

圖一:技術發展藍圖
圖一:技術發展藍圖

2.舉辦漁會節能綠能科技推廣教育活動,於瑞芳漁會舉行,以漁民為對象,結合本所與業者之節能綠能產品,包括本所「智慧追日型太陽能發電系統」,以及廠商展出的「高效率集魚LED燈」與「行動電源系統」,以展示及座談方式推廣給漁民,讓漁民認識節能綠能產品與發展現況,祈望漁民能運用此類產品於相關漁業活動中,達到節能減碳及增進魚獲之目的。

圖二:社會活動中本院同仁與漁民代表合影
圖二:社會活動中本院同仁與漁民代表合影

圖三:六吋碳化矽單晶晶體
圖三:六吋碳化矽單晶晶體

圖四:晶體檢測技術
圖四:晶體檢測技術


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