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技術與專利授權資訊

財團法人工業技術研究院線上半導體2nm製程關鍵尺寸X光量測設備技術等相關研發成果非專屬授權案(服務創新領域)
訊息類別:非專屬授權
執行單位:工業技術研究院
領域別:服務創新
發布日期:2022-05-12 17:00

1. 法人機構名稱:財團法人工業技術研究院。

2. 方式:非專屬授權。

3. 可移轉技術共計3件;研發成果共計2件。

聯絡資訊
聯絡人:工研院 桂嫚婷
聯絡電話:03-5918009
E-mail:ManTing@itri.org.tw
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111年度工研院量測技術發展中心「線上半導體2nm製程關鍵尺寸X光量測設備」技術等相關研發成果非專屬授權案(服務創新領域)(ods)
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111年度工研院量測技術發展中心「線上半導體2nm製程關鍵尺寸X光量測設備」技術等相關研發成果非專屬授權案(服務創新領域)(xlsx)
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更新日期:2017-08-08

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