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技術與專利授權資訊
財團法人工業技術研究院線上半導體2nm製程關鍵尺寸X光量測設備技術等相關研發成果非專屬授權案(服務創新領域)
訊息類別：非專屬授權
執行單位：工業技術研究院
領域別：服務創新
發布日期：2022-05-12 17:00
1. 法人機構名稱：財團法人工業技術研究院。
2. 方式：非專屬授權。
3. 可移轉技術共計3件；研發成果共計2件。
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