(一)電資通光領域：二十人至二十五人。

(二)機電運輸領域：二十八人至三十五人。

(三)民生材化領域：十七人至二十一人。

(四)生技醫藥領域：二十人至二十五人。

(五)綜合領域：十六人至二十人。

前項總召集委員任期三年；各領域召集委員任期二年；技審委員任期一年，期滿本司得續聘之。

(一)技審會依計畫申請及結案各有三階段審查；計畫申請三階段為細部計畫審查會議、領域技審會議及指導委員會議；計畫結案三階段為期末計畫審查會議、領域技審會議及指導委員會議。各會議任務運作如下：

1.細部計畫審查會議

(1)審查委員之組成：由本司指派技審委員三人至四人擔任審查委員，並得加入一人至二人專家委員組成，主審由技審委員擔任；審查委員中須有一名為具業界背景。

(2)專家委員審查之法人科專計畫件數每領域不得超過二件，技審委員不受限制。

(3)審查結果及經費建議數，應提報至各該領域技審會報告。

2.期末計畫審查會議

(1)審查委員之組成：審查委員由該計畫細部審查之委員擔任。

(2)期末審查結論應提報至領域技審會報告。

3.領域技審會議

(1)由審查會議之主審委員提報之各計畫審查結果及經費建議數。

(2)確認計畫審查之經費建議數、期末評等。

4.指導委員會議

(1)審查領域技審會議審查結果。

(2)若於計畫申請階段召開之指導委員會議，申請之法人單位得進行報告，該法人單位首長列席備詢。

(3)進行整體計畫檢視與決議領域技審會議審查結果之經費建議數、期末總排序及成果表揚優良計畫獎。

(二)以上三階段審查適用於批次申請、結案計畫；非批次計畫則免三階段審查；另屬完成整體執行藍圖規劃之計畫，則依專簽辦理審查。

(三)技審委員除協助法人科專計畫審查外，為提升管理運作，凡涉及技術、規格、研發目標及其他重大計畫變更應由技審會委員協助處理。