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科技專案成果
【國際獲獎】揭開磊晶黑盒子 大幅縮短開發時程
發佈日期：2018-01-04
單位：工業技術研究院
案例年度：2017
簡介：
工研院獨創的「可視化磊晶製程與設備優化軟體(CyberEpi)」，不同於傳統的人為操作方式。而是透過創新的多重物理與化學耦合數值模擬分析，與高溫流場可視化技術，經由雷射動態拍攝，讓研發人員可直接觀察磊晶製程的高溫動態流場，加上製程參數實驗，計算出優化的模擬分析資料，再導入巨量資料庫。CyberEpi適用於磊晶製程和設備模組研發，除了將調整最佳化參數製程時間，由1週大幅縮減為2小時，而且能獲得準確度95%的鍍膜速率與均勻性預測。
特色：
獎項名稱：美國百大科技研發獎(R&D 100 Awards 2017)
執行單位：工業技術研究院
獲獎成果：可視化磊晶製程優化系統
成果說明：
過去製程在調控參數時，只能仰賴磊晶製程人員的經驗，一組參數驗證往往需要6到8小時，甚至為了找出整體最佳化製程參數時，更須耗費1週以上。工研院團隊開發出「可視化磊晶製程優化系統」不僅大幅縮短最佳化參數時間，由原本一週減少為兩小時，準確度由92％提升為95％，大幅優化磊晶製程。此外，此系統創新設計的關鍵設備模組，使機台產能成長2倍，預期將新產品上市時間從三個月縮短為一個月，進而讓製造成本降低60%~70%。此系統後續將導入人工智慧，讓系統更進化。除可協助LED業者技術升級，穩固台灣在全球LED市場的領導地位。還能應用於其他產業的磊晶與先進鍍膜製程，包括半導體、下世代顯示器、太陽能光電、無線通訊，以及高效率功率電晶體等。
2017全球百大科技研發獎獲獎成果-可視化磊晶製程優化系統。
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