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科技專案成果
碳化矽單晶生長關鍵技術優化半導體產業鏈
發佈日期：2016-11-24
單位：國家中山科學研究院
案例年度：2016
簡介：
發展碳化矽單晶晶體成長以及晶圓檢測技術，以改善現有產業缺少上游關鍵材料碳化矽基板的問題。
特色：
1.協助環球晶圓及穩懋半導體股份有限公司，通過經濟部A+企業創新研發淬鍊計畫「新世代通訊用之半絕緣碳化矽(S.I.-SiC)晶圓及氮化鎵元件的技術開發」，全案3年總金額新台幣6億元，以晶圓品質為基礎，配合元件設計和製程，共同開發高品質元件特性。使國內碳化矽產業佔有國際高功率市場不可或缺之地位。本院委託執行碳化矽晶圓檢測技術驗證工作。
圖一：技術發展藍圖
2.舉辦漁會節能綠能科技推廣教育活動，於瑞芳漁會舉行，以漁民為對象，結合本所與業者之節能綠能產品，包括本所「智慧追日型太陽能發電系統」，以及廠商展出的「高效率集魚LED燈」與「行動電源系統」，以展示及座談方式推廣給漁民，讓漁民認識節能綠能產品與發展現況，祈望漁民能運用此類產品於相關漁業活動中，達到節能減碳及增進魚獲之目的。
圖二：社會活動中本院同仁與漁民代表合影
圖三：六吋碳化矽單晶晶體
圖四：晶體檢測技術
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